• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Бакалаврская программа «Физика»

Научно-исследовательский семинар: высоковакуумная техника и технология напыления тонких пленок

2020/2021
Учебный год
RUS
Обучение ведется на русском языке
3
Кредиты
Статус:
Курс обязательный
Когда читается:
3-й курс, 1 модуль

Преподаватель

Программа дисциплины

Аннотация

Предметом изучения дисциплины являются современные методы получения, измерения и сохранения вакуума. В системе подготовки они должна занимать существенное место, т.к. вакуум является непременным условием функционирования современных физических приборов различного назначения и вакуумных технологических установок. Для изучения дисциплины необходимы знания математики, информатики, физики, физической химии в пределах программ естественно-научного цикла дисциплин.
Цель освоения дисциплины

Цель освоения дисциплины

  • практическое знакомство с современной вакуумной техникой;
  • формирование у студентов профессиональных компетенций и навыков, позволяющих формулировать, создавать и применять физические модели для решения практических задач;
  • формирование навыков проведения измерения вакуума и навыка критического анализа полученных данных;
  • получение практического навыка использования современных экспериментальных методов сбора и анализа данных;
Планируемые результаты обучения

Планируемые результаты обучения

  • умеет делать качественные выводы при получении новых результатов исследований, производить оценки параметров и характеристик материалов
  • пользоваться полученными знаниями для решения экспериментальных и теоретических задач в составе малой группы
  • умеет решать задачи на данную тему
Содержание учебной дисциплины

Содержание учебной дисциплины

  • Изучение теории и техники получения тонких пленок металла методом вакуумного испарения, исследование зависимости толщины пленки от взаимного расположения подложки и испарителя; изучение на примере установки ВУП–4 широко используемых в физическом эксперименте многофункциональных вакуумных установок
  • Конструктивные элементы вакуумных систем, конструирование и сборка вакуумного поста для для физических экспериментов.
  • Масс-спектральный анализ вакуумных процессов. Принцип действия массспектрометров. Термообработка, обезгаживание и анализ газовыделения в вакууме.
  • Получение и измерение безмасляного и сверхвысокого вакуума и вакуумные насосы
  • Течеискание. Требования к герметичности вакуумных систем. Вакуумметрический, масс-спектральный методы течеискания
Элементы контроля

Элементы контроля

  • неблокирующий Лабораторные работы
  • неблокирующий Доклад
Промежуточная аттестация

Промежуточная аттестация

  • Промежуточная аттестация (1 модуль)
    0.3 * Доклад + 0.7 * Лабораторные работы
Список литературы

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

  • Конструирование и расчет вакуумных систем, Пипко, А. И., Плисковский, В. Я., 1979
  • Техника высокого вакуума, Грошковский, Я., Булата, В. Л., 1975

Рекомендуемая дополнительная литература

  • Введение в физику твердого тела, Киттель, Ч., Гусева, А. А., 1978
  • Техника сверхвысокого вакуума, Уэстон, Дж., Фоминой, М. В., 1988