• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Аспирантура 2019/2020

Технология наноструктур

Статус: Курс по выбору
Направление: 03.06.01. Физика и астрономия
Когда читается: 2-й курс, 1 семестр
Формат изучения: Full time
Преподаватели: Соловьев Виктор Васильевич
Язык: русский
Кредиты: 4

Программа дисциплины

Аннотация

В предлагаемом курсе учащиеся ознакомятся с методами изготовления и характеризации твердотельных нано- и микроструктур, при этом основное внимание уделяется подходу, называемом в литературе "сверху вниз";. Курс достаточно широко охватывает аспекты первоначального формирования структур в "мягкой маске"; из оптического или электронного резиста, и дальнейшего перенесения этого дизайна в твердотельный объект. В каждом разделе особое внимание уделяется влиянию ключевых физических свойств обрабатываемого материала и/или применяемого процесса на конечный результат микро- и нанофабрикации, что должно сформировать у обучающихся начальные представления о возможностях и перспективах того или иного подхода. Курс предназначен прежде всего для аспирантов, вовлеченных в прикладные и фундаментальные экспериментальные исследования в области физики твердого тела и смежных направлений.
Цель освоения дисциплины

Цель освоения дисциплины

  • формирование у аспирантов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур
  • получение аспирантами навыков самостоятельной исследовательской работы с использованием специфических методов низких температур;
  • получение практических навыков использования умений, позволяющих моделировать научные и прикладные технологические задачи по созданию наноструктур; критической оценки применимости используемых методов; анализа результатов, получаемых в ходе научно- исследовательской работы
Результаты освоения дисциплины

Результаты освоения дисциплины

  • Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях
Содержание учебной дисциплины

Содержание учебной дисциплины

  • Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
    Определения и понятия. Наноструктуры вокруг нас. Общие особенности наноструктур. Молекулярно-лучевая эпитаксия. Прямое формирование наноструктур ионным пучком. Са- мосборка и самоорганизация. Изображения оптической и электронной микроскопии. Сканирующая туннельная и атомно- силовая микроскопия. Многообразие физических свойств.
  • Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
    Кремний и его соединения, арсенид галлия, и другие. Возможности жидкостного травления. Преимущества и ограничения методики плазмохимического травления.
  • Фотолитография и электронная литография
    Методы нанесения резистов. Принципы оптической литографии. Позитивные и негативные резисты. Принципы электронной литографии. Нано-импринт литография.
  • Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.
    Методики нанесения PVD, CVD, ALD. Взрывная литография (лифт-офф). Контакт металла и полупроводника: выпрямляющий и омический.
Элементы контроля

Элементы контроля

  • неблокирующий домашние задания
  • неблокирующий курсовая работа
  • неблокирующий работа на семинарах
  • неблокирующий рецензии на работы других аспирантов
Промежуточная аттестация

Промежуточная аттестация

  • Промежуточная аттестация (I семестр)
    0.2 * домашние задания + 0.3 * курсовая работа + 0.2 * работа на семинарах + 0.3 * рецензии на работы других аспирантов
Список литературы

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

  • Róz, A. L. D., Ferreira, M., Leite, F. de L., & Oliveira, O. N. (2017). Nanostructures. Oxford, UK: Elsevier. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1237260

Рекомендуемая дополнительная литература

  • Kaushik, B. K. (2019). Nanoscale Devices : Physics, Modeling, and Their Application. Boca Raton: CRC Press. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1943964