Разработка установки высокочувствительного контроля герметичности специальных электровакуумных приборов

ФИО студента: Дорохин Максим Андреевич

Кампус/факультет: Факультет электроники и телекоммуникаций

Программа: Электронное машиностроение (Специалитет)

Год защиты: 2015

В данной работе представлен литературный обзор современных методов течеискания, применяемых в производстве изделий микроэлектроники, а также обзор оборудования для контроля герметичности. Предложена конструкция узла установки высокочувствительного контроля герметичности специальных электровакуумных приборов и разработан технологический маршрут его изготовления. Описана технология изготовления электровакуумных приборов. Дано описание конструкции установки высокочувствительного контроля герметичности, поста термовакуумной обработки электровакуумных приборов, а также приведены характеристики используемого оборудования. Описана последовательность выполнения работ на комплексе финишной обработки и контроля герметичности электровакуумных приборов. Выполнены вакуумный расчёт с целью выбора средств откачки установки высокочувствительного контроля герметичности и тепловой расчёт нагревательных элементов вакуумного коллектора в пакете программ SolidWorks. Разработаны меры для безопасной эксплуатации течеискателя в составе установки высокочувствительного контроля герметичности.

Выпускные квалификационные работы (ВКР) в НИУ ВШЭ выполняют все студенты в соответствии с университетским Положением и Правилами, определенными каждой образовательной программой.

Аннотации всех ВКР в обязательном порядке публикуются в свободном доступе на корпоративном портале НИУ ВШЭ.

Полный текст ВКР размещается в свободном доступе на портале НИУ ВШЭ только при наличии согласия студента – автора (правообладателя) работы либо, в случае выполнения работы коллективом студентов, при наличии согласия всех соавторов (правообладателей) работы. ВКР после размещения на портале НИУ ВШЭ приобретает статус электронной публикации.

ВКР являются объектами авторских прав, на их использование распространяются ограничения, предусмотренные законодательством Российской Федерации об интеллектуальной собственности.

В случае использования ВКР, в том числе путем цитирования, указание имени автора и источника заимствования обязательно.

Реестр дипломов НИУ ВШЭ