• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

ФИО студента
Название работы
Руководитель
Факультет
Программа
Оценка
Год защиты
Курбатский Александр Михайлович
Методы и средства метрологического обеспечения атомно-силовой микроскопии для 3D-метрии рельефа поверхности в нанометровом диапазоне
2018
Аннотация

В данной работе приведены результаты исследования методов и средств метрологического обеспечения атомно-силовой микроскопии (далее АСМ) для 3-D метрии рельефа поверхности в нанометровом диапазоне. Рассмотрены основные структурные схемы и принципы работы различных микроскопов, а также исследованы методики их работы. Проанализированы конструктивные особенности оборудования, необходимого для проведения измерений, принципы построения и работы АСМ, а также различных калибровочных мер. Выявлены преимущества и недостатки инструментов для изучения рельефа поверхности в нанометровом диапазоне, а так же разработана методика калибровки АСМ.

Цель работы - выбор метода и средств измерений для разработки методики калибровки АСМ в нанометровом диапазоне и экспериментальное получение изображения атомов графита с помощью откалиброванного АСМ.

Результаты:

- на основании проведенных исследований разработана не имеющая аналогов методика калибровки АСМ в нанометровом диапазоне, на основе которой стало возможным получение изображений атомов графита;

- исследованы методы реконструкции изображения для изучения 3-D рельефа поверхности в нанометровом диапазоне;

- детально проанализированы факторы, влияющие на точность измерений геометрических параметров рельефа поверхности в нанометровом диапазоне методами атомно-силовой микроскопии, а также исследованы метрологические характеристики калибровочных мер;

- проведены экспериментальные исследования разработанной методики калибровки на выбранном оборудовании АСМ.

Выводы - метод атомно-силовой микроскопии в комбинации с разработанной методикой калибровки может быть с успехом использован для измерений геометрических параметров нанообъектов на атомарном уровне, что нашло убедительное экспериментальное подтверждение в данной работе на примере визуализации изображений атомов графита.

Выпускные квалификационные работы (ВКР) в НИУ ВШЭ выполняют все студенты в соответствии с университетским Положением и Правилами, определенными каждой образовательной программой.

Аннотации всех ВКР в обязательном порядке публикуются в свободном доступе на корпоративном портале НИУ ВШЭ.

Полный текст ВКР размещается в свободном доступе на портале НИУ ВШЭ только при наличии согласия студента – автора (правообладателя) работы либо, в случае выполнения работы коллективом студентов, при наличии согласия всех соавторов (правообладателей) работы. ВКР после размещения на портале НИУ ВШЭ приобретает статус электронной публикации.

ВКР являются объектами авторских прав, на их использование распространяются ограничения, предусмотренные законодательством Российской Федерации об интеллектуальной собственности.

В случае использования ВКР, в том числе путем цитирования, указание имени автора и источника заимствования обязательно.

Расширенный поиск ВКР