Методы и средства метрологического обеспечения интерференционной микроскопии для 3D-метрии рельефа поверхности в нано- и микрометровом диапазонах

Работа посвящена изучению, анализу существующих подходов к метрологическому обеспечению измерений параметров шероховатости и рельефа поверхностей в микрометровом диапазоне. Изучается состояние нормативно-методической базы для оценки параметров рельефа и шероховатости поверхности с 30 годов 20 века по настоящее время, система передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности, основанной на поверочной схеме, комплексе первичных и рабочих эталонов, рабочих средств измерений. Рассматриваются виды и конструкторские особенности средств интерференционной микроскопии при бесконтактном исследовании рельефа поверхности, методики измерений параметров рельефа поверхности. Проводятся сравнительные измерения с использованием разных средств измерений. Целью работы является выбор метода и средства измерений, которые позволят проводить измерения параметров рельефа поверхности, с одной стороны, бесконтактно, не нарушая качество поверхности, а, с другой стороны, были бы достаточно производительными, пригодными для применения в промышленности.