• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Разработка вакуумной системы установки для нанесения тонких пленок

ФИО студента: Ариошкин Сергей Сергеевич

Руководитель: Быков Дмитрий Васильевич

Кампус/факультет: Московский институт электроники и математики им. А.Н. Тихонова

Программа: Инфокоммуникационные технологии и системы связи (Бакалавриат)

Оценка: 7

Год защиты: 2019

В рамках выпускной квалификационной работы рассматривается вопрос производства вакуумного оборудования, которое широко применяется в электронной промышленности. Процессы нанесения тонких пленок используются для изготовления элементной базы устройств систем связи. Дипломный проект представляет разработку принципиальной схемы вакуумной системы для установки нанесения тонких пленок, которая проектируется на базе проектного и поверочного расчётов и может быть интегрирована в производственные установки в сфере микро- и наноэлектроники, для которой важна идеально чистая технологическая среда.

Текст работы (работа добавлена 25 мая 2019 г.)

Выпускные квалификационные работы (ВКР) в НИУ ВШЭ выполняют все студенты в соответствии с университетским Положением и Правилами, определенными каждой образовательной программой.

Аннотации всех ВКР в обязательном порядке публикуются в свободном доступе на корпоративном портале НИУ ВШЭ.

Полный текст ВКР размещается в свободном доступе на портале НИУ ВШЭ только при наличии согласия студента – автора (правообладателя) работы либо, в случае выполнения работы коллективом студентов, при наличии согласия всех соавторов (правообладателей) работы. ВКР после размещения на портале НИУ ВШЭ приобретает статус электронной публикации.

ВКР являются объектами авторских прав, на их использование распространяются ограничения, предусмотренные законодательством Российской Федерации об интеллектуальной собственности.

В случае использования ВКР, в том числе путем цитирования, указание имени автора и источника заимствования обязательно.

Реестр дипломов НИУ ВШЭ