Изучение влияния состава и строения углеродных и алмазоподобных слоистых структур на характеристики созданных на их основе устройств электронной техники

Углеродные наностенки формировали из газовой смеси водорода и метана, активированной тлеющим разрядом постоянного тока. Пленки алмазоподобных материалов (AlN и ZnO) выращивали ВЧ-магнетронным реактивным распылением металлов. Методами электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и спектроскопии комбинационного рассеяния света исследовано влияние условий получения на состав и строение углеродных наностенок и пленок AlN и ZnO. Углеродные наностенки, выращенные на кремниевых подложках и слоистые структуры на их основе (углеродные наностенки – алмазоподобные материалы) использовали в качестве эмитирующего слоя автоэмиссионных катодов. Изучена взаимосвязь состава и строения слоистых структур с функциональными характеристиками автоэмиссионных катодов. Показана возможность оценки по спектрам комбинационного рассеяния света пьезоэлектрической эффективности наноструктурированных пленок AlN и ZnO. Выпускная квалификационная работа изложена на 65 листах и включает 37 рисунков, 3 таблицы и 37 источников использованной литературы.