Kинетическая индуктивность квазиодномерного сверхпроводника при различных температурах

Кинетическая индуктивность привлекает в последнее время большой интерес, так как с развитием микро- и наноэлектроники возникает множество трудностей на пути к миниатюризации электронных элементов, таких как сильный нагрев устройств или технологические трудности изготовления элементов малых размеров. Использование сверхпроводников и конкретно эффекта кинетической индуктивности в микро- и наноэлектронике может стать большим прорывом. Кроме того, несмотря на то что явление кинетической индуктивности в сверхпроводниках было открыто достаточно давно, нельзя сказать, что оно на сегодняшний день изучено в достаточной степени, таким образом исследование данного эффекта вызывает научный интерес. В данной работе приведены теоретические данные зависимости кинетической индуктивности от различных параметров, подробно изучена методика изготовления сверхпроводящих образцов с высоким значением кинетической индуктивности, разработана геометрия сверхпроводящих индукторов, отработана технология изготовления, изготовлены несколько партий образцов и составлена технологическая карта процесса изготовления сверхпроводящих пленок Ti с большой кинетической индуктивностью. Работа содержит 35 страниц, 13 рисунков, 8 таблиц, 18 источников