• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»ДиссертацииИнформационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии

Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографииКандидатская диссертация

Соискатель:Корпачев Максим Юрьевич
Руководитель:Ивашов Евгений Николаевич (др. работы под рук-вом)
Ведущая организация: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет»
Оппоненты:Павлов Александр Юрьевич - кандидат технических наук, заведующий лабораторией № 106 ФГБУН «Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН»; Антамошкин Александр Николаевич - доктор технических наук, профессор кафедры системного анализа и исследования операций ФГБОУ ВПО «Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева»
Дата защиты:22.12.2016




Диссертация [*.pdf, 6.10 Mb] (дата размещения 20.10.2016)
Автореферат [*.pdf, 896.40 Kb] (дата размещения 20.10.2016)


Специальность: 05.13.12 Системы автоматизации проектирования