Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии
Соискатель:
Корпачев Максим Юрьевич
Руководитель:
Ивашов Евгений Николаевич (др. работы под рук-вом)
Ведущая организация:
ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет»
Оппоненты:
Антамошкин Александр Николаевич; Павлов Александр Юрьевич
Специальность:
05.13.12 Системы автоматизации проектирования
Дата защиты:
12/22/2016
Диссертация [*.pdf, 6.10 Мб] (дата размещения 10/20/2016)
Автореферат [*.pdf, 896.40 Кб] (дата размещения 10/20/2016)