Диссертации, представленные на защиту и подготовленные в НИУ ВШЭ
Сортировка:по дате защитыпо имени научного руководителяпо имени соискателя
Показаны работы: 1 - 2 из 2
Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографииКандидатская диссертация
Соискатель:
Корпачев Максим Юрьевич
Руководитель:
Ивашов Евгений Николаевич
Оппоненты:
Антамошкин Александр Николаевич, Павлов Александр Юрьевич
Дата защиты:
12/22/2016
Диссертация [*.pdf, 6.10 Мб] (дата размещения 10/20/2016)
Автореферат [*.pdf, 896.40 Кб] (дата размещения 10/20/2016)
Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографииКандидатская диссертация
Соискатель:
Костомаров Павел Сергеевич
Руководитель:
Ивашов Евгений Николаевич
Оппоненты:
Павлов Александр Юрьевич, Антамошкин Александр Николаевич
Дата защиты:
12/24/2015
В диссертационной работе выполнено обзорно-аналитическое исследование в области автоматизации проектирования устройств оборудования для процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии (ИУФЛ). Рассмотрен теоретический подход к решению задачи создания элементов системы автоматизации проектирования устройств ИУФЛ (УИУФЛ). Предложена методика выбора рационального варианта технического решения УИУФЛ. Реализован синтез алгоритмов поиска технических решений устройств оборудования для ИУФЛ
Диссертация [*.pdf, 6.82 Мб] (дата размещения 10/22/2015)
Автореферат [*.pdf, 707.80 Кб] (дата размещения 10/22/2015)