Рентгенорефлектометрическое исследование формирования, морфологии и кинетики роста металлических и полупроводниковых наноразмерных пленокX-ray reflectometry study of the formation, morphology and growth kinetics of metallic and semiconductor nanoscale films

Диссертация посвящена рентгенорефлектометрическому исследованию формирования, морфологии и кинетики роста металлических и полупроводниковых наноразмерных пленок. В работе использован усовершенствованный соискателем метод in situ рентгеновской рефлектометрии. Для практической реализации предложенного метода создан вакуумно-технологический комплекс с системой непрерывного in situ контроля параметров растущих пленок. Технические решения, описанные в диссертации, защищены шестью патентами Российской Федерации. На основе анализа совокупности экспериментальных временных зависимостей толщины, плотности, среднеквадратичной шероховатости поверхности пленки, а также интенсивности отраженного и рассеянного рентгеновского излучения исследованы начальные стадии роста пленок и определены механизмы их роста.