• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Магистратура 2022/2023

Технология наноструктур

Лучший по критерию «Полезность курса для расширения кругозора и разностороннего развития»
Лучший по критерию «Новизна полученных знаний»
Статус: Курс обязательный (Физика)
Направление: 03.04.02. Физика
Где читается: Факультет физики
Когда читается: 1-й курс, 1, 2 модуль
Формат изучения: без онлайн-курса
Охват аудитории: для своего кампуса
Прогр. обучения: Физика
Язык: русский
Кредиты: 6
Контактные часы: 40

Программа дисциплины

Аннотация

Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.
Цель освоения дисциплины

Цель освоения дисциплины

  • - формирование у студентов профессиональных компетенций в области физики конденсированных сред, приобретение студентами навыков самостоятельной работы;
  • - формирование подходов, основанных на полученных знаниях, позволяющих проводить научные исследования и анализировать полученные результаты;
  • развитие умений, позволяющих проектировать, изготовливать и давать характеристику твердотельным структурам: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия;
Планируемые результаты обучения

Планируемые результаты обучения

  • Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях
Содержание учебной дисциплины

Содержание учебной дисциплины

  • Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
  • Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
  • Фотолитография и электронная литография
  • Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.
Элементы контроля

Элементы контроля

  • неблокирующий Доклад
    Устный доклад подразумевает выполнение презентации по одному из частных вопросов темы текущей лекции длительностью не более 10 минут.
  • неблокирующий Практическая работа
    В ходе практической работы необходимо на выданной студенту подложке подготовить структуру с заданными характеристиками, используя один из изученных в курсе методик.
  • неблокирующий Экзамен
    Итоговый контроль - экзамен в конце 2-го модуля. Проводится устно в формате беседы по программе курса. Билет содержит 1 вопрос по материалам лекций и одну задачу.
Промежуточная аттестация

Промежуточная аттестация

  • 2022/2023 учебный год 2 модуль
    0.5 * Экзамен + 0.25 * Практическая работа + 0.25 * Доклад
Список литературы

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

  • Róz, A. L. D., Ferreira, M., Leite, F. de L., & Oliveira, O. N. (2017). Nanostructures. Oxford, UK: Elsevier. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1237260

Рекомендуемая дополнительная литература

  • Kaushik, B. K. (2019). Nanoscale Devices : Physics, Modeling, and Their Application. Boca Raton: CRC Press. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1943964