Исследование структуры и свойств тонкопленочных покрытий специального назначения

ФИО студента: Мамин Владислав Викторович

Кампус/факультет: Московский институт электроники и математики им. А.Н. Тихонова

Программа: Прикладная физика (Магистратура)

Оценка: 9

Год защиты: 2016

В литературном обзоре настоящей диссертации был произведен анализ технологии производства тонких пленок. Изучены строение и свойства напыляемой поверхности, требования которые предъявляются к ним. Рассмотрены модели роста тонких пленок и проанализирована зависимость свойств и структуры получаемых пленок от свойств подложки. Изучен метод электронно-лучевого напыления. В рамках экспериментальной части была изучена методика напыления Ti на подложки из Mo. Были проведены комплексные исследования полученных пленок Ti с целью выявления зависимости свойств и структуры пленки от температуры подложки на момент напыления. Произведено исследование при помощи рентгенодифракционного анализа. Произведено исследование шероховатости поверхности пленки. Исследована структура напыленных мишеней и определено наличие примесей при помощи сканирующей электронной микроскопии.

Текст работы (работа добавлена 20 мая 2016 г.)

Выпускные квалификационные работы (ВКР) в НИУ ВШЭ выполняют все студенты в соответствии с университетским Положением и Правилами, определенными каждой образовательной программой.

Аннотации всех ВКР в обязательном порядке публикуются в свободном доступе на корпоративном портале НИУ ВШЭ.

Полный текст ВКР размещается в свободном доступе на портале НИУ ВШЭ только при наличии согласия студента – автора (правообладателя) работы либо, в случае выполнения работы коллективом студентов, при наличии согласия всех соавторов (правообладателей) работы. ВКР после размещения на портале НИУ ВШЭ приобретает статус электронной публикации.

ВКР являются объектами авторских прав, на их использование распространяются ограничения, предусмотренные законодательством Российской Федерации об интеллектуальной собственности.

В случае использования ВКР, в том числе путем цитирования, указание имени автора и источника заимствования обязательно.

Реестр дипломов НИУ ВШЭ